干涉显微镜ganshe xiangweijing

干涉仪和显微镜组合而成的一种测量仪器。可通过对双光束干涉条纹的观察和测定，对某些量进行精密的测量。按参加干涉的光束是经被测样品反射或透射的不同，可分为反射式和透射式两种类型。反射式干涉显微镜由迈克耳孙干涉仪发展而来，其光路原理如图1所示。由光源S发出的光束，经分光板P分为反射和透射两束光，其中反射光束射向被测样品表面S₁，透射光束射向参考表面S₂。由S₁反射的光束通过物镜O₁又透过P，在O₁的焦平面S′上形成S₁的像。由S₂反射的光束通过与O₁相同的物镜O₂后又经P反射，在S′上也形成S₂的像。构成两个像的二光束，在像的对应点上是相干的，可通过目镜观察干涉条纹的情况。透射式干涉显微镜有不同的实现方案，图2示出了一种称为双焦干涉显微镜的透射式干涉显微镜的光路原理。入射光经起偏器P₁和双折射透镜L₁分为不同会聚程度的两束光（分别用实线和虚线表示）。其中一束光通过被测样品S的一点C，另一束通过样品上以C为中心的一个圆形区域，其中每条光线受样品某些不均匀性的影响而产生不同的位相变化。这两束光再经物镜O、双折射透镜L₂和检偏镜P₂以后，在目镜焦平面上会合生成干涉图样，通过目镜进行观察。干涉显微镜是一种精密的测量仪器，在良好的条件下可测出λ/1300的光程差，因而广泛用于测量表面的粗糙度、表面刻痕的深度、表面镀膜的厚度、透明物体折射率的不均匀性、生物细胞的光学性质等。

图 1

图 2

干涉显微镜interference microscope

根据光的衍射和干涉原理。使被检样品细节的光程差（或相位差）转化为明暗及色泽差别的显微镜。采用较多的干涉系统是照明光经起偏振器成偏振光，通过方解石将每一光束分成两束光，一束通过载玻片上的样品，另一束沿同样的光路，但不通过样品，再经一方解石将两束光合成一束光，最后用一偏振器将合成光转换到相同的偏振方向而产生干涉。其优点是能消除相差显微镜观察时常见的细节光晕，同时细节间不仅有明暗对比而且还具有色泽对比，并有一定的立体感。从单色光在透过标本后光程的延缓可以测定细节的干重（如蛋白质重量）、标本的厚度和标本的含水量，是细胞化学定量测定的方法之一。