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工作波段在米波至亚毫米波的电真空器件。采用静电控制而缩短管内电极间矩的徽波管，称为微波三、四极管；采用动态控制，化渡越时间为有益因素的微波管，称为O型管（如速调管）；以电子束的动能与高频场进行能量交换的管子，称为M型器件（如磁控管）。
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