微细加工技术研究

成都电讯工程学院胡思福等完成。微细加工技术是开发研制大规模集成电路、微波半导体器件、固体激光器的关键基础技术，微细光刻又是该技术的核心。该项研究的特点是不采用目前国际上占主导地位的光学透镜系统的投影缩小曝光技术，而利用紫外光近场衍射的特定场分布，进行衍射缩小曝光来制作微米级精细图形，从曝光原理到制作技术都是一种创新。该项研究立足于国内基础条件，易于推广应用。获1986年四川省科技进步一等奖。