“氮化铝压电薄膜”的意思、由来及中英文翻译是什么-中文百科知识-开放百科全书

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词条	氮化铝压电薄膜
类别	中文百科知识
释义	氮化铝压电薄膜电子科技大学曲喜新等完成。在国内首创采用自制的直流磁控溅射设备，制得优质的氮化铝压电薄膜。薄膜表面光滑，内部致密，无色透明，附着牢，内应力小，微晶取向优良，具有好的介电性能和压电性能，且工艺稳定，重复性好。这种薄膜材料具有高声速、低色散等特点，广泛应用于各种表声波和体声波器材，特别适用于制作微声器件，为发展中国的超高频压电器件打下了良好的基础。获1988年机电部科技进步一等奖。
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