薄膜科学与技术手册

田民波等编译，机械工业出版社出版。16开。上册1991年3月出版，787页；下册1991年5月出版，996页。本书上册介绍薄膜及其特征，薄膜的电磁学、光学、机械、化学等性质，薄膜制备工艺，薄膜性能检测等。下册介绍薄膜技术在信息及计算机、半导体、电子、光学、传感器、计量等产业部门的应用。