TDG-28型大直径区熔单晶炉

东风电机厂理工设备分厂等单位盛跃昌等研制。该设备是中国第一台带有晶体夹持机构的大直径区熔单晶炉，使用悬浮区熔法生产高阻率无位错直径达∅75mm～∅100mm的单晶硅棒。 还带有伸缩炉体、 真空自动密封、下轴密封传动使用密封圈与下轴间的摩擦力来传动力矩等国内独有的结构。各项性能指标达到国际80年代同类产品的水平，填补了国内大直径单晶炉制造的空白，可替代同类进口产品，还可出口创汇。获1991年四川省科技进步一等奖。