扫描电子显微镜scanning electron microscope,SEM

用聚焦的电子束在镀以金属薄膜的样品上扫描，再把重金属散射的二次电子集中起来，放大成像的电子显微镜。它的成像过程与电视显像过程相似，其图像是按一定的时间、空间顺序逐点形成并在镜体外的显像管上显示。它的结构包括电子光学系统、真空系统、图像信号检测器、图像显示与记录系统、电源系统及其他附属部件。广泛用于观察各种固态物质的表面超微结构和组成，利用冷冻断裂方法制样，也可观察物体内部结构。