超净车间

指制造半导体集成电路的几乎没有灰尘的工作室。为了研制半导体集成电路，不仅要有各种高性能的机械装置，而且生产过程中的所有操作，都必须在几乎没有灰尘的清洁的房间里进行。例如，超大规模集成电路是在只有小指甲盖大小的硅基片上制作几十万个小元件，各元件及其间隔的大小都在微米大小的限度内。如果一个超大规模集成电路在制造过程中有数微米大小的灰尘落上，这个集成电路就变成废品。因此，在生产超大规模集成电路过程中，灰尘是一大敌。由于从普通人身上(如从皮肤、头发、衣服等)一分钟可落下数千个尘埃微粒，所以人不能随便进入超净车间。生产人员要穿戴特制尼龙服装和帽子，并要经过无尘空气“喷浴”，然后才能进入工作室。此外，还要经常向超净车间内送入无尘空气。