| 词条 | 电子工业部第四十八研究所 |
| 类别 | 中文百科知识 |
| 释义 | 电子工业部第四十八研究所建于1964年。所址长沙市天心区黑石铺。1995年有职工891人，其中专业技术人员449人，内有科学家和工程师283人。该所是国内唯一从事“三束” (电子束、离子束、分子束)技术为主的半导体微细加工设备研究制开发且属基础研究与应用开发相结合的综合性设备研究所。在电子光学、离子光学、超高真空技术、计算机应用及精密加工等方面已奠定了稳固的基础； 培养出一支光、机、电门类配套、具有较强研制开发能力的专业队伍； 先后研制成功一批具有国内外先进水平的产品，主要科研成果有： LC—4型700Kev高能离子注入机、LC—2A型中能离子注入机、DB—3电子束爆光机、GK系列高温扩散炉、离子束共溅射镀膜设备、节能型全自动双推板窑等。 电子工业部第四十八研究所位于湖南省长沙市南郊黑石铺。建于1976年。1994年有职工898人，其中有研究员和工程师284人。设有离子束、电子束、分子束技术、薄膜热工设备、基础技术、工艺技术微机应用、新产品开发等研究和机加工车间、技术信息经营部。主要从事离子束、电子束、分子束和热工设备研制。在电子光学、离子光学、超真空技术、超高压技术、计算机应用、精密加工等方面已奠定较稳固的技术基础，是国内唯一具有一定规模和技术水平的半导体新工艺设备研究所。 |
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