| 词条 | 真空技术 |
| 类别 | 中文百科知识 |
| 释义 | 真空技术真空技术基本实验技术之一。主要包括：1.真空的获得（应用各种真空泵）;2.真空的测量（应用最广泛的是各种电离真空计）;3.残余气体的分析（常用质普仪）3个部分。真空技术在近代尖端科学技术，如大规模集成电路、高能粒子加速器、表面科学、空间技术等方面都占有关键的地位，在工业生产中也有日益广泛的应用。 |
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