电子工业专用设备

季刊。电子工业部第四十五研究所主办， 1971年3月创刊。原名 《半导体设备》， 不定期出版， 1986年12月改现名， 确定为季刊并公开发行，1994年起为中国电子专用设备工业协会会刊。该刊是我国电子专用设备行业创刊最早、唯一全面反映各类电子专用设备技术的刊物， 主要报道国内外电子工业基础产品、各类工艺设备的科研生产、使用维护和管理方面的科技成果、先进经验及国内外发展动态。16开本， 主要栏目有综述、论文、研究报告、新设备、设备改造与改进设计、设备使用与管理、译文、简讯等。