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含氧酸盐的热稳定性一般比无氧酸盐差。各种含氧酸盐的热稳定性为,硝酸盐、卤酸盐最不稳定,碳酸盐、硫酸盐次之,磷酸盐、硅酸盐较稳定。它们的热稳定性顺序与对应的含氧酸相似,但比含氧酸稳定得多。含氧酸盐的分解产物与对应含氧酸的分解产物有相似之处,例如,碳酸盐、硫酸盐分解时有酸酐生成,硝酸盐分解时,酸根中的中心原子变价:
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