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词条 真空镀膜仪
类别 中文百科知识
释义

真空镀膜仪vacuum coater

在真空条件下,对样品进行喷镀的仪器。电子显微镜实验室常规设备之一。是喷镀与复型技术所必需的一种仪器。由真空系统及蒸发装置组成。真空系统使钟罩内达到一定的真空状态;蒸发装置在真空罩内,由两对电极组成,一对安装碳棒,一对安装待蒸发的金属,如金、铂等。当电极的电流达30~50 A时,碳与金属被加热至熔点温度之后即蒸发出细小的颗粒,喷射到样品表面上。

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更新时间:2025/9/28 6:39:59